公开号CN121306889A

作者:emc体育官网  日期:2026-02-08  浏览:  来源:emc体育

  国家知识产权局信息显示,上海稷以科技有限公司申请一项名为“半导体刻蚀用气体扩散板及气体控制方法”的专利,公开号CN121306889A,申请日期为2025年9月。

  专利摘要显示,本发明提出了一种半导体刻蚀用气体扩散板及气体控制方法,该气体扩散板包括:金属扩散组件,其上设有沿Z向贯通金属扩散组件的金属孔;及石英扩散组件,设置于金属扩散组件的上表面,其包括上石英板、与上石英板连接的下石英板;上石英板,其上开设沿Z向贯通上石英板的上气孔,若干个上气孔沿X向排列;下石英板,其上开设沿Z向贯通下石英板的下气孔,若干个下气孔沿X向排列;上气孔与下气孔均沿X向错位排列;上气孔、下气孔沿Z向的高度均大于高度值h。本发明可独立调控等离子体气流分布与等离子体能量。

  天眼查资料显示,上海稷以科技有限公司,成立于2015年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析,上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目89次,财产线条,此外企业还拥有行政许可14个。

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